中文EN
火博体育网站(000021.SZ)
RMB
您当前所在位置:首页 > 产品中心 > 半导体

火博体育网站:国内半导体洗刷装备龙头盛美上海商酌叙述

发布时间:2022-04-14 23:12:21 来源:火博体育注册 作者:火博体育app官网

  半导体器件基础知识

  用心半导体装备研发,滋长为国内冲洗装备龙头。盛美上海设置于2005年,是国内少 数拥有必定国际角逐力的半导体专用装备成立商,苛重产物征求半导体冲洗装备、半 导体电镀装备、先辈湿法封装装备和立式炉管装备,产物笼盖前道芯片成立和后道先 进封装合节。个中,冲洗装备是公司的拳头产物,公司通过自立研发且环球当先的 SAPS兆声波冲洗技巧、时序能激气穴振动TEBO兆声波冲洗技巧,可行使于28nm及 以下技巧和节点的晶圆冲洗规模,告捷进入海力士、长江存储、华虹集团、中芯国际 等国表里半导体成立企业产线年数据,公司正在环球冲洗装备的墟市份 额已升至 4%,个中单片、槽式冲洗装备的环球墟市份额抵达 5.2%,是国内半导体 冲洗装备龙头。

  不同化计划打筑国表里墟市,客户拓展至行业多家龙头公司。公司控股股东美国 ACMR设置于1998年,设置起即从事半导体专用装备研发,苛重技巧构造征求多阳极 个别镀铜技巧、无应力铜扔光(SFP)技巧。2005年盛美上海设置后采用了与电镀、 扔光同属于湿法工艺的冲洗装备规模,并采用不同化角逐政策,采用与主流冲洗技巧 区其余技巧举行中心研发。2008年公司兆声波冲洗技巧SAPS研发告捷,2009年SAPS 冲洗装备告捷进入环球十泰半导体企业、环球存储器龙头企业韩国海力士(无锡)开 展产物验证,2011年用于12英寸45nm工艺的SAPS冲洗装备初次取得海力士订单,并 于2013年取得海力士多台反复订单。2015年公司获得长江存储、中芯国际及华虹集团 等国内当先客户SAPS订单。正在先辈封装湿法装备、电镀装备、无应力扔光装备、立 式炉管装备规模,公司也获得了客户的认同:2013年获得国内封装测试龙头企业长电 科技先辈封装湿法装备订单,2018年获得长电科技后道先辈封装电镀装备和订单, 2019年前道铜互贯串电镀装备获得华虹集团订单、无应力扔光装备获得长电科技订 单,2020年公司立式炉管获得华虹集团订单。

  从湿法工艺起步,逐渐向平台化发达。公司从湿法工艺起步,研发了以冲洗装备、先 进封装湿法装备、电镀装备为代表的湿法工艺装备,2018年先河干法装备的研发,于 2020年推出立式炉管装备,完毕了从湿法工艺装备进入干法工艺装备的横跨,逐渐向 半导体装备平台发达。遵照公司预计,公司目前的产物线年再推出两款装备,产物可供职墟市领域将翻倍。 估计该两款产物2022年可进入客户端验证。

  产物线日臻厚实,笼盖晶圆成立和先辈封装等规模。半导体资产链中技巧难度最高、 附加值最大、工艺最为繁复的为集成电道成立,行使于集成电道规模的装备平日可分 为前道工艺装备(晶圆成立)和后道工艺装备(封装测试)两大类。公司通过络续的 研发进入和历久的技巧、工艺积蓄,产物线从晶圆成立规模扩展到先辈封装规模。日 益厚实的产物饱励公司贩卖收入继续增进,公司的角逐力继续提拔。

  公司具有三大产物线,征求半导体冲洗装备、先辈封装湿法装备、半导体电镀装备和 立式炉管装备,分辨占2021年公司营收的65.1%、13.4%和16.9%。

  (1) 半导体冲洗装备:半导体冲洗装备为公司主旨产物,苛重征求单片冲洗装备、 槽式冲洗装备和单片槽式冲洗装备,个中单片冲洗装备2020年占冲洗装备营 收的87.7%。单片冲洗装备苛重依附公司两项特有专利技巧——空间交变相 位移(SAPS)技巧和时序能激气穴振动(TEBO)技巧,竣工先辈技巧节点的平 面和图形晶圆、3D图形和极幼尺寸高宽深比机合的优异冲洗。公司冲洗装备 已进入海力士、华虹集团、长江存储等多家国表里集成电道成立企业。

  (2) 先辈封装湿法装备:苛重征求湿法刻蚀装备、涂胶装备、显影装备、去胶设 备、先辈封装刷洗装备和无应力扔光装备,苛重客户征求长电科技、通富微 电、中芯长电、Nepes、华进半导体和中国科学院微电子咨议所等封装企业和 科研院所。

  (3) 半导体电镀装备和立式炉管装备:1)电镀装备:苛重征求前道铜互连电镀设 备和后道先辈封装电镀装备。公司是目前环球少数几家掌管芯片铜互连电镀 铜技巧主旨专利并竣工资产化的公司之一,前道电镀装备可行使于55/40/28和 28纳米以下的大马士革铜金属层浸积,2021年装备已取得苛重集成电道成立 商demo订单。后道先辈封装电镀装备已取得反复订单。2)立式炉管装备:公 司研发的立式炉管装备最先聚合正在 LPCVD 装备,再向氧化炉和扩散炉发达, 终末逐渐进入到 ALD 装备行使。立式炉管装备已取得华虹集团订单。

  僵持环球化政策,主动拓展海表里新客户。2021年公司新增五家大陆区域以表的出名 客户及国内多家客。